เครื่องมือวัดขนาดชิ้นงานด้วยภาพ Non-contact 3 แกน (X, Y, Z) ระบบภาพแบบ Confocal technology ทำงานอัตโนมัติ ควบคุมและประมวลผลการวัดโดยคอมพิวเตอร์ ออกแบบมาสำหรับชิ้นงานที่ต้องการเครื่องมือวัดที่มีความละเอียด และ ความแม่นยำสูง  โดยความละเอียดในการวัดแกน Z อยู่ที่ 10 นาโนเมตร ปรับระดับขั้นในการ Zoom ได้ถึง 5 ระดับ พร้อม zoom ratio ที่ 15X ระบบ CNC Stage เคลื่อนที่ด้วยความเร็วสูง เหมาะสำหรับการวัดขนาดชิ้นงานประเภท Bump on advanced IC Packages, Probe cards , Micro lens – Contact lens, Laser marks on semiconductor wafers, MEMS, Wire bonding, HDD Slider เป็นต้น

•   เป็นระบบ Automated Video Measuring ที่ทำงานโดยการควบคุมผ่าน NEXIV CF AutoMeasure Software (Developed by Nikon)
•   ใช้ DC Servo Motor และ Ball Screwในการเคลื่อนที่ Stage ทำให้สามารถวัดงานได้อย่างรวดเร็วและมีความแน่นอนในการวัดสูง
•   มีฟังก์ชั่นการจดจำภาพ (Pattern Image Learning) และการหาภาพ (Pattern Searching) เพื่อหาตำแหน่งชิ้นงานที่ต้องการวัดได้โดยอัตโนมัติ
•   การวัดความสูงด้วยระบบ Confocal (เทคนิคทางแสง) ทำให้สามารถวัดระดับความสูงได้ทั้ง Field of View พร้อมๆกัน เพิ่มประสิทธิภาพในการทำงาน และ ให้ความละเอียดในการวัดระดับ นาโนเมตร แบบ Non-Contact 
•   ระบบไฟหลากหลายรูปแบบ รองรับการวัดชิ้นงานได้ทุกประเภท ประกอบด้วย ไฟบน, ไฟล่าง (Epi / Dia illumination) และ LED ring illumination
•   มีระบบ Auto Focus ทั้งแบบ Vision และ Upgraded TTL Laser 
•   สามารถเชื่อมต่อกับ Software Mountain Map X (Optional) เพื่อการวิเคราะห์ และ ประมวลผล แบบ 3D