Hollywood International Ltd. › Wi8 i G2 : Wafer Vision Inspection Handler

Wi8 i G2 : Wafer Vision Inspection Handler

เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์รุ่น Wi8i G.2 นําเสนอโซลูชันขั้นสูงสําหรับการตรวจสอบข้อบกพร่องของพื้นผิว 2 มิติการวัดและกลไกการจัดการที่หลากหลายเพื่อรองรับรูปแบบเวเฟอร์ที่แตกต่างกัน ได้แก่ raw wafer, hoop ring, framed wafer ตั้งแต่ขนาด 100 มม. (4 ") ถึง 300 มม. (12") และ waffle pack

Model Type

Wi8 i G2

Wafer Input Type & Size

Raw Wafer - 6” (150mm) , 8” (200mm) , 12” (300mm)

Hoop Ring - 4” (100mm) , 6” (150mm) , 8” (200mm) - manual loading

Framed Wafer - 6” (150mm) , 8” (200mm) , 12” (300mm)

Camera Lens

2X

5X

7.5X

Accuracy

2.2 μm / pixel

0.9 μm / pixel

0.6 μm / pixel

Field of View

9.1mm x 9.1mm

3.6mm x 3.6mm

2.4mm x 2.4mm

System Capability

Offline Verifier

Optimize production yield. Once wafer inspection is completed, user can identify, review and reclassify inspection result with Offline Verifier.

Wafer Automated Loader-Unloader

Auto handling supports up to 300mm (12”) raw wafer, hoop ring and framed wafer.

Related Products