NEXIV VMZ-S3020

nexiv vmz s3020 withpc

NEXIV VMZ-S3020 - มาพร้อมกับความเร็วและความแม่นยำที่สูงมากกว่าเดิม

 

มีความแม่นยำและความรวดเร็วในการทำงานสูง ควบคู่กับความเป็นเลิศในการใช้งาน รองรับงานวัดมิติระดับไมครอน ถือเป็นสุดยอดเครื่องมือวัดขนาดด้วยภาพที่มาในขนาดที่เหมาะสม
ด้วยเลนส์ที่ยอดเยี่ยมของ Nikon ให้ความแม่นยำสูงและความสามารถในการวัดซ้ำที่ดีเยี่ยม พร้อมกับความเร็วในการวัดงานที่เพิ่มขึ้น โดย VMZ-S3020 รองรับชิ้นงานขนาด 300 x 200 x 200 (X x Y x Z) มม. เหมาะสำหรับการวัดชิ้นส่วนขนาดเล็ก อาทิเช่น เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ และ ชิ้นส่วนจักรกลต่างๆ.
 
 

nexiv vmz s3020 accuracy within fovคุณลักษณะเด่น 

 

ความถูกต้องสูงสุดสำหรับการวัดมิติในหนึ่งภาพหน้าจอ

 

Nikon ได้สรรสร้างเลนส์ที่มีคุณภาพสูงมาพร้อมกับภาพที่มีความถูกต้องแม่นยำ ทำให้สามารถกำหนดค่าความถูกต้องสำหรับการวัดมิติในหนึ่งภาพหน้าจอ(PF2D,PFV2D) ได้ดังนี้
  • Proving error* PF2D0.8µm
  • Type2 zooming head. Determined by Nikon’s in-house measurement method. Measurement of the perimeter of a circular reference device. This involves stage movement so a video caliper tool within the FOV, is evenly placed at 25 points on the perimeter.
  • Probing error of the imaging probe* PFV2D 0.3 µm
  • *Type2 zooming head. Determined by Nikon’s in-house measurement method. Measurement of 25 points that are evenly placed on the perimeter of a circular reference device at one location on the screen (without stage movement).

เพิ่มความเร็วในการอ่านข้อมูล

 

ด้วยการพัฒนาปรับปรุงระบบความคุมสำหรับการเคลื่อนที่ระยะทางสั้นๆ ทำให้ลดเวลาในการวัดลงได้มากว่าเดิม

nexiv vmz s3020 accuracy within fov

nexiv vmz s3020 accuracy within fov

ชุดความคุมแบบใหม่


ด้วยการออกแบบชุดควบคุมแบบใหม่ ทำให้การควบคุมเครื่องทำได้สะดวกมากยิ่งขึ้น รวมถึงสามารถลดความเมื่อยล้าจากการทำงานได้อีกด้วย

 



ระบบช่วยสนับสนุนการสร้างโปรแกรมวัดงาน 

 

ซอฟต์แวร์การวัดขนาดชิ้นงาน NEXIV AutoMeasure ที่เปี่ยมด้วยความสามารถ ประมวลผลได้รวดเร็ว และออกแบบให้ใช้งานได้ง่าย มาพร้อมกับฟังก์ชันในการวัดที่หลากหลาย มีระบบช่วยสร้างโปรแกรมการวัด ทำให้จุดวัดจำนวนมากสามารถสร้างขึ้นได้อย่างรวดเร็วแบบอัตโนมัติ

*ฟังก์ชันนี้เหมาะสำหรับการวัดชิ้นงานที่ไม่ซับซ้อน ภายใต้เงื่อนไขการใช้งานร่วมกับชุดไฟล่าง รวมถึงต้องมีขอบชิ้นงานที่ชัดเจน ปราศจากสิ่งสกปรก และสามารถใช้งานได้กับชิ้นงานที่มีรูปร่างลักษณะปกติทั่วไปเช่น วงกลม สี่เหลี่ยม ส่วนโค้ง เป็นต้น
 

nexiv vmz s3020 accuracy within fov

 


nexiv vmz s3020 accuracy within fov

สื่อแนะนำการใช้งานรูปแบบดิจิตอล NEXIV Note

 

โปรแกรมสามารถแสดงรูปภาพและวิดีโอที่เป็นเนื้อหาการใช้งานทั่วไปของ NEXIV ทำให้ผู้ใช้งานสามารถนำข้อมูลเหล่านี้ ไปประยุกต์ใช้สร้างโปรแกรมการวัดได้อย่างง่ายดาย

nexiv vmz s3020 accuracy within fov


กำลังขยายมาตรฐาน : Type 1-3

 

รุ่นกำลังขยายมาตรฐานแบบ Type 1, 2 and 3 มีอัตราส่วนช่วงกำลังขยายสูงถึง 15เท่า มีระยะ working distance สูงถึง 50 มิลลิเมตร โดยมีมุมมองพื้นที่การวัดที่กว้าง มาพร้อมกับคุณสมบัติเลนส์ที่มีค่า NA สูงถึง 0.35 สามารถทำงานร่วมกับชุดไฟล่าง ไฟบน และไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง โดยสามารถปรับเพิ่มมุมตกกระทบของแสงได้อีก 3 ระดับ  


กำลังขยายสูง : Type 4, TZ

 

รุ่นกำลังขยายสูง Type 4 และแบบ Type TZ มีอัตราส่วนช่วงกำลังขยายแบบ 15เท่า และแบบ 120เท่า มาพร้อมกับคุณสมบัติเลนส์ที่มีค่า NA สูงสุดถึง 0.46 ทำงานร่วมกับ ชุดไฟล่าง ไฟบน และไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง ที่มุมตกกระทบแสง 50 องศา โดยรุ่น TZ จะสามารถใช้ได้กับ ชุดไฟล่าง ไฟบน และไฟบนแบบ darkfield


ชุดกำลังขยายแบบมุมมองกว้าง: Type A

 

รุ่นกำลังขยายแบบมุมมองกว้าง Type A มีอัตราส่วนช่วงกำลังขยาย 10เท่า เป็นเลนส์มุมกว้างที่มีค่า working distance สูงสุด มาพร้อมกับคุณสมบัติเลนส์มีค่า NA 0.11 ทำงานร่วมกับ ชุดไฟล่าง ไฟบน และ ไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง ที่มุมตกกระทบแสง 18 องศา


รองรับการวัดชั้นผิวงานโปร่งแสงระดับ 0.1 มิลลิเมตร

 

ด้วยการออกแบบระบบเลเซอร์แบบใหม่ (TTL Laser AF) ทำให้สามารถวัดผิวงานแบบทึบแสงและแบบโปร่งแสงได้ สามารถปรับโฟกัสภาพรวมถึงการวัดความสูงได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ
nexiv vmz s3020 15x

ชุดไฟวงแหวนอิสระ 8 ทิศทางพร้อมปรับมุมองศาแสงอีก 3 ระดับ

 

กำลังขยายแบบมาตรฐาน (type 1-3) มาพร้อมกับชุดไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง ไฟวงแหวนจะมีทั้งหมดสองชั้นคือ ชั้นใน และชั้นนอก ทำให้สามารถปรับมุมแสงตกกระทบได้ที่มุม 37, 55 และ 75 องศา โดยแต่ละองศาสามารถปรับเพิ่มลดระดับความสว่างได้อีกด้วย
 
* ไฟวงแหวนแบบปรับอิสระ 8 ทิศทาง ของรุ่น Type 4 จะมีมุมตกกระทบแสงที่ 50 องศา ส่วน Type A จะมีมุมตกกระทบแสงที่ 18 องศา
nexiv vmz s3020 accuracy within fov

อัตราส่วนกำลังขยาย 15 เท่า

 

ชุดเลนส์สามารถปรับกำลังขยายได้ 5 ระดับ มาพร้อมกับอัตราส่วนกำลังขยายที่กว้างถึง 15 เท่า ทำให้รองรับการวัดงานที่หลากหลายขนาด โดยเลนส์กำลังขยายต่ำสุดจะทำให้สามารถวัดงานได้แบบมุมมองภาพกว้าง ส่วนเลนส์กำลังขยายสูงสุดจะทำให้ภาพที่ได้มีรายละเอียดภาพที่สูง


nexiv vmz s3020 transparant

 

รายละเอียดตัวเครื่อง

Model VMZ-S3020
XYZ strokes 300×200×200 mm *Type TZ with low magnification lens: 250×200×200 mm
Minimum readout 0.01 μm
Maximum sample weight 20 kg (Accuracy guaranteed: 5 kg)
Maximum permissible error
(L: Length in mm)
EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
Probing error 1),2): MPE PF2D 0.8 µm Probing error of the imaging probe 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm
Camera Black and White / Color 1/3 CMOS Camera
Working Distance Type 1,2 and 3 Type 4 Type TZ Type A
  50 mm 30 mm (High-mag.) 11 mm / (Low-mag.) 32 mm 73.5 mm (63 mm with Laser AF)
XYZ strokes 300×200×200 mm *Type TZ with low magnification lens: 250×200×200 mm
Laser AF repeatability range 1),3) 2σ ≦ 0.5 µm
Illumination Type 1, 2, 3, and 4 : Episcopic, diascopic, and 8-segment ring with 3 angles *All white LED/Type 4 has only 1 angle Type TZ: Left objective lens: Episcopic, darkfield ; Right objective lens: Episcopic, diascopic, darkfield Type A: Episcopic, diascopic, and 8-segment ring with 1 angle *All white LED
Power source, Power consumption AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
Dimensions & weight Main body with table (W×D×H): 700×730×1793 mm / approx. 265 kg Controller: 190×450×450 mm / approx. 12 kg
Footprint (W×D) 2700×2400 mm
1) Determined by Nikon in-house measurement method. 2) With Type 2 head, 15×. 3) Workpiece: Chrome on calibration plate, without Type A head.

Related Products