NEXIV VMZ-S3020

NEXIV VMZ-S3020 - มาพร้อมกับความเร็วและความแม่นยำที่สูงมากกว่าเดิม

มีความแม่นยำและความรวดเร็วในการทำงานสูง ควบคู่กับความเป็นเลิศในการใช้งาน รองรับงานวัดมิติระดับไมครอน ถือเป็นสุดยอดเครื่องมือวัดขนาดด้วยภาพที่มาในขนาดที่เหมาะสม
ด้วยเลนส์ที่ยอดเยี่ยมของ Nikon ให้ความแม่นยำสูงและความสามารถในการวัดซ้ำที่ดีเยี่ยม พร้อมกับความเร็วในการวัดงานที่เพิ่มขึ้น โดย VMZ-S3020 รองรับชิ้นงานขนาด 300 x 200 x 200 (X x Y x Z) มม. เหมาะสำหรับการวัดชิ้นส่วนขนาดเล็ก อาทิเช่น เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ และ ชิ้นส่วนจักรกลต่างๆ.

คุณลักษณะเด่น

ความถูกต้องสูงสุดสำหรับการวัดมิติในหนึ่งภาพหน้าจอ

Nikon ได้สรรสร้างเลนส์ที่มีคุณภาพสูงมาพร้อมกับภาพที่มีความถูกต้องแม่นยำ ทำให้สามารถกำหนดค่าความถูกต้องสำหรับการวัดมิติในหนึ่งภาพหน้าจอ(PF2D,PFV2D) ได้ดังนี้

Proving error* P_F2D0.8µm
Type2 zooming head. Determined by Nikon’s in-house measurement method. Measurement of the perimeter of a circular reference device. This involves stage movement so a video caliper tool within the FOV, is evenly placed at 25 points on the perimeter.
Probing error of the imaging probe* PFV2D 0.3 µm
*Type2 zooming head. Determined by Nikon’s in-house measurement method. Measurement of 25 points that are evenly placed on the perimeter of a circular reference device at one location on the screen (without stage movement).

เพิ่มความเร็วในการอ่านข้อมูล

ด้วยการพัฒนาปรับปรุงระบบความคุมสำหรับการเคลื่อนที่ระยะทางสั้นๆ ทำให้ลดเวลาในการวัดลงได้มากว่าเดิม

nexiv vmz s3020 accuracy within fov

ชุดความคุมแบบใหม่

ด้วยการออกแบบชุดควบคุมแบบใหม่ ทำให้การควบคุมเครื่องทำได้สะดวกมากยิ่งขึ้น รวมถึงสามารถลดความเมื่อยล้าจากการทำงานได้อีกด้วย

ระบบช่วยสนับสนุนการสร้างโปรแกรมวัดงาน

ซอฟต์แวร์การวัดขนาดชิ้นงาน NEXIV AutoMeasure ที่เปี่ยมด้วยความสามารถ ประมวลผลได้รวดเร็ว และออกแบบให้ใช้งานได้ง่าย มาพร้อมกับฟังก์ชันในการวัดที่หลากหลาย มีระบบช่วยสร้างโปรแกรมการวัด ทำให้จุดวัดจำนวนมากสามารถสร้างขึ้นได้อย่างรวดเร็วแบบอัตโนมัติ

*ฟังก์ชันนี้เหมาะสำหรับการวัดชิ้นงานที่ไม่ซับซ้อน ภายใต้เงื่อนไขการใช้งานร่วมกับชุดไฟล่าง รวมถึงต้องมีขอบชิ้นงานที่ชัดเจน ปราศจากสิ่งสกปรก และสามารถใช้งานได้กับชิ้นงานที่มีรูปร่างลักษณะปกติทั่วไปเช่น วงกลม สี่เหลี่ยม ส่วนโค้ง เป็นต้น

สื่อแนะนำการใช้งานรูปแบบดิจิตอล NEXIV Note

โปรแกรมสามารถแสดงรูปภาพและวิดีโอที่เป็นเนื้อหาการใช้งานทั่วไปของ NEXIV ทำให้ผู้ใช้งานสามารถนำข้อมูลเหล่านี้ ไปประยุกต์ใช้สร้างโปรแกรมการวัดได้อย่างง่ายดาย

กำลังขยายมาตรฐาน : Type 1-3

รุ่นกำลังขยายมาตรฐานแบบ Type 1, 2 and 3 มีอัตราส่วนช่วงกำลังขยายสูงถึง 15เท่า มีระยะ working distance สูงถึง 50 มิลลิเมตร โดยมีมุมมองพื้นที่การวัดที่กว้าง มาพร้อมกับคุณสมบัติเลนส์ที่มีค่า NA สูงถึง 0.35 สามารถทำงานร่วมกับชุดไฟล่าง ไฟบน และไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง โดยสามารถปรับเพิ่มมุมตกกระทบของแสงได้อีก 3 ระดับ

กำลังขยายสูง : Type 4, TZ

รุ่นกำลังขยายสูง Type 4 และแบบ Type TZ มีอัตราส่วนช่วงกำลังขยายแบบ 15เท่า และแบบ 120เท่า มาพร้อมกับคุณสมบัติเลนส์ที่มีค่า NA สูงสุดถึง 0.46 ทำงานร่วมกับ ชุดไฟล่าง ไฟบน และไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง ที่มุมตกกระทบแสง 50 องศา โดยรุ่น TZ จะสามารถใช้ได้กับ ชุดไฟล่าง ไฟบน และไฟบนแบบ darkfield

ชุดกำลังขยายแบบมุมมองกว้าง: Type A

รุ่นกำลังขยายแบบมุมมองกว้าง Type A มีอัตราส่วนช่วงกำลังขยาย 10เท่า เป็นเลนส์มุมกว้างที่มีค่า working distance สูงสุด มาพร้อมกับคุณสมบัติเลนส์มีค่า NA 0.11 ทำงานร่วมกับ ชุดไฟล่าง ไฟบน และ ไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง ที่มุมตกกระทบแสง 18 องศา

รองรับการวัดชั้นผิวงานโปร่งแสงระดับ 0.1 มิลลิเมตร

ด้วยการออกแบบระบบเลเซอร์แบบใหม่ (TTL Laser AF) ทำให้สามารถวัดผิวงานแบบทึบแสงและแบบโปร่งแสงได้ สามารถปรับโฟกัสภาพรวมถึงการวัดความสูงได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ

ชุดไฟวงแหวนอิสระ 8 ทิศทางพร้อมปรับมุมองศาแสงอีก 3 ระดับ

กำลังขยายแบบมาตรฐาน (type 1-3) มาพร้อมกับชุดไฟวงแหวนแบบปรับอิสระได้ 8 ทิศทาง ไฟวงแหวนจะมีทั้งหมดสองชั้นคือ ชั้นใน และชั้นนอก ทำให้สามารถปรับมุมแสงตกกระทบได้ที่มุม 37, 55 และ 75 องศา โดยแต่ละองศาสามารถปรับเพิ่มลดระดับความสว่างได้อีกด้วย

* ไฟวงแหวนแบบปรับอิสระ 8 ทิศทาง ของรุ่น Type 4 จะมีมุมตกกระทบแสงที่ 50 องศา ส่วน Type A จะมีมุมตกกระทบแสงที่ 18 องศา
nexiv vmz s3020 accuracy within fov

อัตราส่วนกำลังขยาย 15 เท่า

ชุดเลนส์สามารถปรับกำลังขยายได้ 5 ระดับ มาพร้อมกับอัตราส่วนกำลังขยายที่กว้างถึง 15 เท่า ทำให้รองรับการวัดงานที่หลากหลายขนาด โดยเลนส์กำลังขยายต่ำสุดจะทำให้สามารถวัดงานได้แบบมุมมองภาพกว้าง ส่วนเลนส์กำลังขยายสูงสุดจะทำให้ภาพที่ได้มีรายละเอียดภาพที่สูง

รายละเอียดตัวเครื่อง

Model	VMZ-S3020
XYZ strokes	300×200×200 mm *Type TZ with low magnification lens: 250×200×200 mm
Minimum readout	0.01 μm
Maximum sample weight	20 kg (Accuracy guaranteed: 5 kg)
Maximum permissible error (L: Length in mm)	E_{UX, MPE} E_{UY, MPE} 1.2 + 4L / 1000 µm	E_{UXY, MPE} 2.0 + 4L / 1000 µm		E_{UZ, MPE}1.2 + 5L / 1000 µm
Maximum permissible error (L: Length in mm)	Probing error 1),2): MPE P_F2D 0.8 µm Probing error of the imaging probe 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm
Camera	Black and White / Color 1/3 CMOS Camera
Working Distance	Type 1,2 and 3	Type 4	Type TZ	Type A
	50 mm	30 mm	(High-mag.) 11 mm / (Low-mag.) 32 mm	73.5 mm (63 mm with Laser AF)
XYZ strokes	300×200×200 mm *Type TZ with low magnification lens: 250×200×200 mm
Laser AF repeatability range 1),3)	2σ ≦ 0.5 µm
Illumination	Type 1, 2, 3, and 4 : Episcopic, diascopic, and 8-segment ring with 3 angles All white LED/Type 4 has only 1 angle Type TZ: Left objective lens: Episcopic, darkﬁeld ; Right objective lens: Episcopic, diascopic, darkﬁeld Type A: Episcopic, diascopic, and 8-segment ring with 1 angle All white LED
Power source, Power consumption	AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
Dimensions & weight	Main body with table (W×D×H): 700×730×1793 mm / approx. 265 kg Controller: 190×450×450 mm / approx. 12 kg
Footprint (W×D)	2700×2400 mm