ด้วยตัวรับสัญญาณประสิทธิภาพสูง ที่มีช่วงการวัดถึง 1,000µm และ ความละเอียดมากสุดของแกน Z อ่านได้ถึง 0.0001µm สามารถทำการวัดแบบช่วงกว้างที่มีความละเอียดสูงได้ โดยไม่จำเป็นต้องพิจารณาช่วงการวัด นอกจากพื้นผิวที่เรียบแล้ว พื้นที่หยาบหรือเป็นคลื่น เช่น ขั้นบันได หรือ พื้นผิวกลม สามารถทำการประมวลผลได้ด้วยการลากเส้นเพียงครั้งเดียว โดยการปรับระดับและตั้งค่าศูนย์วัดก่อนเพื่อทำให้สามารถวัดงานได้ง่ายขึ้น