V510Ai Vision Pro

ระบบตรวจสอบอัตโนมัติแบบ Smart 3D AOI สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ส่วน Back-end

V510Ai Vision Pro คือระบบ Smart 3D Automated Optical Inspection (AOI) ที่ได้รับการพัฒนาสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในส่วน Back-end โดยเฉพาะ ผสานเทคโนโลยีการตรวจสอบด้วย SWIR (Short-Wave Infrared) Vision ร่วมกับระบบกล้องความละเอียดสูง เพื่อขยายขีดความสามารถในการตรวจสอบให้เหนือกว่าช่วงแสงที่ตามองเห็น และเพิ่มประสิทธิภาพในการตรวจจับรอยแตกร้าวภายในชิป (Inner Die Cracks) ได้อย่างแม่นยำ

ด้วยเทคโนโลยี AI ขั้นสูง ระบบสามารถตรวจสอบพื้นผิวของ Die ที่มีความซับซ้อนหรือมีความท้าทายในการตรวจสอบได้อย่างมีประสิทธิภาพ พร้อมให้ผลการตรวจสอบที่มีความน่าเชื่อถือสูง นอกจากนี้ยังมาพร้อมระบบกรองอากาศ HEPA Filtration เพื่อรองรับการใช้งานภายใน Cleanroom ตามมาตรฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์

• AI Smart Programming ช่วยลดเวลาในการสร้างโปรแกรมตรวจสอบ พร้อมเพิ่มความสะดวกในการตั้งค่าระบบ
• AI Crack Detection ตรวจจับรอยแตกร้าวของ Die ได้อย่างแม่นยำด้วยเทคโนโลยี AI
• Fully Automated Material Handling รองรับการลำเลียงชิ้นงานอัตโนมัติ เพิ่มประสิทธิภาพและลดการสัมผัสจากผู้ปฏิบัติงาน
• Ultra-High Resolution Imaging ระบบกล้องความละเอียดสูงสำหรับการตรวจสอบรายละเอียดระดับไมโคร
• Hybrid Vision System ผสานการตรวจสอบด้วยแสงที่มองเห็น (Visible Light) และ SWIR เพื่อเพิ่มความแม่นยำในการตรวจสอบชิ้นงาน