Hollywood International Ltd. › Non Contact Flatness Measurement Topmap Series TMS-500/500R

Non Contact Flatness Measurement Topmap Series TMS-500/500R

TMS-500/TMS-500R

รุ่น TMS-500 และ รุ่น TMS-500-R ออกแบบสำหรับการตรวจสอบความเรียบพื้นผิวด้วยความละเอียดระดับนาโนเมตร ด้วยความเร็วสูง เหมาะสำหรับตรวจสอบพื้นผิวที่มีความหลากหลายของวัสดุที่อยู่ในชิ้นงานเดียวกัน หรือพื้นผิวที่มีค่าการสะท้อนแสงที่สูง ใช้ในกลุ่มงานอุตสาหกรรมยานยนต์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมฮาร์ดดิสก์ และอุตสาหกรรมการผลิตกระจก

General Features	TMS-500/ TMS-500-R
Measuring area	43.3 x 32.7 mm
Working distance	13 mm
Lateral optical resolution	16 um
Vertical resolution	<1.45 nm
Vertical measuring range	70 mm
Extended measuring area	228 mm x 221 mm
Measuring principle	Scanning white-light interferometry
Data formats	Topography formats: SUR, ASCll Export formats: qs-STAT, PDF, BMP, PNG, TIFF, GIF
	Typical Flatness Measurement
	Smooth Surfaces		Rough Surfaces
Flatness deviation	< 75 nm		< 125 nm
Reproducibility	5 nm		10 nm
	Typical Step Height Measurement
Nominal step height	5 um	450 um		5000 um
Reproducibility	0.008 um	0.05 um		0.05 um
	Other features
Filters	3 Filters for adapting to different sample reflectivities; Optical tool for automatically identifying measurement position
Roughness sensor of TMS 500-R	Measure range	Imaging systems		Working distance
	150 um	Confocal sensor		3.35 mm
Roughness measurement with TMS 500-R	Measurable roughness values RA > 100 nm