Non Contact Flatness Measurement Topmap Series TMS-500/500R

TMS-500/TMS-500R

              รุ่น TMS-500 และ รุ่น TMS-500-R ออกแบบสำหรับการตรวจสอบความเรียบพื้นผิวด้วยความละเอียดระดับนาโนเมตร ด้วยความเร็วสูง เหมาะสำหรับตรวจสอบพื้นผิวที่มีความหลากหลายของวัสดุที่อยู่ในชิ้นงานเดียวกัน หรือพื้นผิวที่มีค่าการสะท้อนแสงที่สูง ใช้ในกลุ่มงานอุตสาหกรรมยานยนต์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมฮาร์ดดิสก์ และอุตสาหกรรมการผลิตกระจก
 
General Features TMS-500/ TMS-500-R
Measuring area 43.3 x 32.7 mm
Working distance 13 mm
Lateral optical resolution 16 um
Vertical resolution <1.45 nm
Vertical measuring range 70 mm
Extended measuring area 228 mm x 221 mm
Measuring principle Scanning white-light interferometry
Data formats Topography formats: SUR, ASCll
Export formats: qs-STAT, PDF, BMP, PNG, TIFF, GIF
  Typical Flatness Measurement
   Smooth Surfaces Rough Surfaces
Flatness deviation < 75 nm < 125 nm
Reproducibility 5 nm 10 nm
  Typical Step Height Measurement
Nominal step height 5 um 450 um 5000 um
Reproducibility 0.008 um 0.05 um 0.05 um
  Other features
Filters 3 Filters for adapting to different sample reflectivities;
Optical tool for automatically identifying measurement position
Roughness sensor
of TMS 500-R
Measure range Imaging systems Working distance
150 um Confocal sensor 3.35 mm
Roughness measurement
with TMS 500-R
Measurable roughness values
RA > 100 nm

 

Related Products