WiX, ตัวจัดการการตรวจสอบเวเฟอร์วิชัน นำเสนอการตรวจสอบเวเฟอร์ขั้นสูงด้วยความแม่นยำระดับซับไมครอน เป็นแพลตฟอร์มแบบครบวงจรที่ออกแบบมาเพื่อการควบคุมข้อบกพร่องทั้งหมดบนพื้นผิวด้านบน ด้านใน และด้านหลังของเวเฟอร์ สร้างขึ้นเพื่อความยืดหยุ่นและความสามารถในการปรับขนาดสูง ช่วยให้โรงหล่อ IDM และ OSAT บรรลุผลผลิตและความน่าเชื่อถือระดับโลก
 

Model Type	WiX Series
Wafer Input Type & Size	Raw Wafer: 150mm , 200mm , 300mm Framed Wafer: 150mm , 200mm , 300mm *Hoop Ring: Supportable
Wafer Carrier Type & Size	Raw Wafer Cassette: 150mm , 200mm FOUP / FOSB: 300mm (raw wafers) Framed Wafer Cassette: 150mm , 200mm , 300mm
Vision Optics	High Resolution Industrial Camera, High Accuracy Magnification Lens, Intelligent Autofocus, Multiple Illumination, Multiple Colour Filter
Magnification Lens	2X 5X 7.5X 10X
Automated Handling Mechanism	Automated Wafer Handling & Inspection with - Dual Robot Arm - Dual Load Port
Smallest Accuracy	0.7 µm / pixel
Cleanroom Class	Class 100, Class 1000 With Ionizer and ULPA/HEPA Filter System
Lot & Wafer ID Traceability	External and Built-in Barcode Scanner: 1D, 2D Carcodes Built-in OCR Scanner: Alphanumeric Codes

*Only manual loading available | Specifications are subject to change.